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显微云纹技术在微电子器件力学测量中的应用
谢惠民 王怀喜 刘清珺 岸本哲 戴福隆
APPLICATION OF MICRO-MOIR\'{E} TECHNIQUE TO MECHANICS MEASUREMENT FOR MICRO-ELECTRONIC DEVICES
力学与实践 . 2009, (3): 1 -8 .  DOI: 10.6052/1000-0879-2008-439