高频等离子体尾焰接地熄弧的原因及解决办法

范支鹏, 阎嘉坪, 高彦春, 黎齐修, 陈允明. 高频等离子体尾焰接地熄弧的原因及解决办法[J]. 力学与实践, 1980, 2(4): 58-59. DOI: 10.6052/1000-0879-1980-100

引用本文:

范支鹏, 阎嘉坪, 高彦春, 黎齐修, 陈允明. 高频等离子体尾焰接地熄弧的原因及解决办法[J]. 力学与实践, 1980, 2(4): 58-59. DOI: 10.6052/1000-0879-1980-100

摘要: 高频等离子体在化工、冶金中有着广泛的应用.国内先后用于制造钛白、光导纤维及氮化硼等新材料.但在试验或生产中常遇到下述问题:与高频等离子体发生器相连的化学反应器一旦接地,系统就无法正常运转.经过反复试验发现,由于高频等离子体尾焰很长,时而会接触连在后面的反应器器壁,而一般反应器又是导电的,这时反应器的(电)接地就会引起熄 ...

/